Pour des formations plus ciblées, le LPSC peut organiser, à la demande d’un industriel ou d’une équipe de recherche, une ou plusieurs journées sur des thématiques plasma relevant des compétences du CRPMN et de ses partenaires (liste non limitative) :
Formations théoriques
- Physique des plasmas
- Physique et technologie des réacteurs plasma
- Interaction plasma-surface
- Micro-fabrication (gravure, dépôt, implantation ionique …)
- Applications hors microélectronique (stérilisation, détoxication …)
- … (selon demande)
Travaux pratiques disponibles
- Décharge luminescente (Paschen)
- Caractérisation électrique des plasmas (sonde de Langmuir)
- Caractérisation chimique par spectroscopie d’émission optique (actinométrie)
- Polarisation RF des substrats
- Dépôt PACVD et gravure de SiO2
- Dépôts par pulvérisation
- Implantation ionique par immersion plasma (PBII)
- … (selon disponibilité)
Suivant le cas, la formation peut se dérouler sur site, par exemple en milieu industriel, pour des formations théoriques (cf. ST Microelectronics, Atmel, Air Liquide …), ou sur la plate-forme IAP3 pour des formations pratiques.
