Interactions plasma / surfaces - Introduction à l’utilisation des plasmas froids pour le traitement de surfaces
Ce stage est organisé par le CRPMN avec le support de CNRS Formation Entreprises, sous la responsabilité pédagogique de Stéphane BÉCHU. Il permet aux ingénieurs, doctorants, cadres, et techniciens supérieurs d'acquérir des notions de base sur les plasmas et procédés plasma.
Cette formation de 4 jours, voir programme ci-dessous, comporte des cours théoriques et une formation pratique importante (3 x 4 heures) sur des dispositifs expérimentaux situés au LPSC et à l'Institut Néel.
La prochaine session de cette formation aura lieu du 25 au 29 Mars 2024 à Grenoble dans les locaux du LPSC et à l'institut Néel. Pour tout renseignement : https://cnrsformation.cnrs.fr/interactions-plasma-surfaces?axe=150
Extrait du catalogue 2021 présentant les détails de la formation
Programme prévisionnel de la prochaine session 2024.
Dispositif situé à l'Institut Néel (Plateforme Nanofab) utilisé lors de la séance de travaux pratiques sur la gravure ionique réactive (RIE) - Photo Laboure - ESRF
Mise en évidence du profil de gravure par profilométrie optique et mécanique lors de la sance de travaux pratiques à l'Institut Néel - Photo Laboure - ESRF
Wafer de silicium après les opérations de gravure effectuées en salle blanche lors de la seance de travaux pratiques à l'Institut Néel - Photo Laboure - ESRF
Séance de travaux pratiques au LPSC pour la caratérisation par spectroscopie d'émission optique d'un plasma basse pression d'argon/SF6/Kr, Photo Laboure - ESRF
Détail du plasma basse pression étudié lors des seances de travaux pratiques exploitant la spectroscopie d'émission optique (espèces neutres du plasma) et les sondes de Langmuir (espèces chargées du plasma), photo Laboure - ESRF
