Interactions plasma / surfaces - Introduction à l’utilisation des plasmas froids pour le traitement de surfaces

Ce stage est organisé par le CRPMN avec le support de CNRS Formation Entreprises, sous la responsabilité pédagogique de Stéphane BÉCHU. Il permet aux ingénieurs, doctorants, cadres, et techniciens supérieurs d'acquérir des notions de base sur les plasmas et procédés plasma.
Cette formation de 4 jours, voir programme ci-dessous, comporte des cours théoriques et une formation pratique importante (3 x 4 heures) sur des dispositifs expérimentaux situés au LPSC et à l'Institut Néel.

La prochaine session de cette formation aura lieu du 29 Mars au 1 Avril 2022 à Grenoble dans les locaux du LPSC et à l'institut Néel. Pour tout renseignement : https://cnrsformation.cnrs.fr/interactions-plasma-surfaces?axe=150

 

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Extrait du catalogue 2021 présentant les détails de la formation

 Programme 2022 Printemps Final Page 1

 Programme 2022 Printemps Final Page 2

Programme de la prochaine session en 2022.

Gravure ReacteurRF1

Dispositif situé à l'Institut Néel (Plateforme Nanofab) utilisé lors de la séance de travaux pratiques sur la gravure ionique réactive (RIE) - Photo Laboure - ESRF

Gravure Reacteur RF4

Mise en évidence du profil de gravure par profilométrie optique et mécanique lors de la sance de travaux pratiques à l'Institut Néel - Photo Laboure - ESRF

Gravure ReacteurRF3

Wafer de silicium après les opérations de gravure effectuées en salle blanche lors de la seance de travaux pratiques à l'Institut Néel - Photo Laboure - ESRF

LPSC2

Séance de travaux pratiques au LPSC pour la caratérisation par spectroscopie d'émission optique d'un plasma basse pression d'argon/SF6/Kr, Photo Laboure - ESRF

LPSC3

Détail du plasma basse pression étudié lors des seances de travaux pratiques exploitant la spectroscopie d'émission optique (espèces neutres du plasma) et les sondes de Langmuir (espèces chargées du plasma), photo Laboure - ESRF