Préparation des surfaces et métallisation

Le Centre de Recherche Plasmas-Matériaux-Nanostructures (CRPMN) du LPSC effectura le traitement des surfaces et la métallisation de certains des cristaux de diamant CVD. L'obtention de contacts ohmiques adhérents au cristal et de faible résistivité est un élément clé pour le dispositif expérimental. Le traitement sera effectué en utilisant la technologie DMW (Distributed Microwave Plasmas), une technologie originale et polyvalente développée par le CRPMN. Une telle technologie permet un traitement à très faible pression avec l'aide d'ions (nettoyage, pulvérisation assistée par plasma) ainsi que le traitement à haute pression (par exemple traitement par plasma réactif).