Interactions plasma / surfaces - Introduction à l’utilisation des plasmas froids pour le traitement de surfaces

Ce stage est organisé par le CRPMN avec le support de CNRS Formation Entreprises, sous la responsabilité pédagogique de Stéphane BÉCHU. Il permet aux ingénieurs, doctorants, cadres, et techniciens supérieurs d'acquérir des notions de base sur les plasmas et procédés plasma.
Cette formation de 4 jours, voir programme ci-dessous, comporte des cours théoriques et une formation pratique importante (3 x 4 heures) sur des dispositifs expérimentaux situés au LPSC et à l'Institut Néel.

La prochaine session de cette formation aura lieu du 29 Mars au 1 Avril 2022 à Grenoble dans les locaux du LPSC et à l'institut Néel. Pour tout renseignement : https://cnrsformation.cnrs.fr/interactions-plasma-surfaces?axe=150

 

21101

 

Extrait du catalogue 2021 présentant les détails de la formation

 Programme 2022 Printemps Final Page 1

 Programme 2022 Printemps Final Page 2

Programme de la prochaine session en 2022.

Gravure ReacteurRF1

Dispositif situé à l'Institut Néel (Plateforme Nanofab) utilisé lors de la séance de travaux pratiques sur la gravure ionique réactive (RIE) - Photo Laboure - ESRF

Gravure Reacteur RF4

Mise en évidence du profil de gravure par profilométrie optique et mécanique lors de la sance de travaux pratiques à l'Institut Néel - Photo Laboure - ESRF

Gravure ReacteurRF3

Wafer de silicium après les opérations de gravure effectuées en salle blanche lors de la seance de travaux pratiques à l'Institut Néel - Photo Laboure - ESRF

LPSC2

Séance de travaux pratiques au LPSC pour la caratérisation par spectroscopie d'émission optique d'un plasma basse pression d'argon/SF6/Kr, Photo Laboure - ESRF

LPSC3

Détail du plasma basse pression étudié lors des seances de travaux pratiques exploitant la spectroscopie d'émission optique (espèces neutres du plasma) et les sondes de Langmuir (espèces chargées du plasma), photo Laboure - ESRF

Des enseignements plasma sont dispensés au niveau Master dans différents filières de l’Université Joseph Fourier et de Grenoble INP :

  • Cours Physique des Plasmas en 2eme année de PHELMA (Grenoble INP)
  • Cours et TP Traitement et élaboration des matériaux par plasma en 3ème année de la filière Matériaux de Polytech Grenoble (UJF)
  • Master M1 Physique de l’UFR de Physique (UJF), cours à option Introduction à la Physique des Plasmas

 

 

La valorisation, au sens large, des résultats issus des recherches fondamentales menées sur les plasmas et leurs applications s’inscrit dans la culture profonde des membres du CRPMN. Les actions de valorisation conduites par le groupe se situent non seulement au niveau socio-économique (protection de la propriété intellectuelle, transfert de technologies, création d’emplois), mais aussi au niveau socio-culturel, avec les actions de formation et la diffusion de l’information scientifique et technique à travers les maillages, réseaux, sites web et autres ouvrages spécialisés mentionnés sur ce site.

Les actions de valorisation entreprises par le CRPMN au niveau socio-économique couvrent toute la chaîne du transfert industriel, depuis la protection de la propriété industrielle (brevets, accords de confidentialité …) jusqu’au transfert de technologie et de savoir-faire proprement dit (contrats, concessions de licences, création d’entreprise). La mise en application de cette approche globale dans le cadre du transfert de technologie des plasmas micro-onde a valu au CRPMN le prix de la Valorisation 2008 de l’IN2P3, catégorie Transfert de technologies. La liste ci-dessous répertorie les principales actions concrétisées au cours des dernières années.

 

Dépôt de brevets

4 brevets déposés en 2006, tous en cours d’extension à l’étranger. Ils portent sur les technologies micro-onde conçues et développées au CRPMN et sur les nouveaux procédés plasma qui y sont mis en œuvre.

Création d’entreprise

Création de Boreal Plasma en janvier 2005 en vue de l’exploitation des technologies plasma micro-onde du CRPMN. Boreal Plasma fabrique et commercialise des sources de plasma élémentaires et des réacteurs sous licences CNRS-UJF.

Concessions de licences

  • Des licences non exclusives ont été concédées à la start up Boreal Plasma avec pour objectif la dissémination des technologies plasma du CRPMN auprès des laboratoires et des industriels
  • Actuellement, des discussions entrent dans leur phase finale pour des concessions de licences exclusives dans des domaines d’applications hors microélectronique
  • Pour les applications en microélectronique, des discussions sont entamées avec divers équipementiers, et en particulier en Corée.

ITA de Valorisation

Dans le cadre des aides attribuées par la DPI (Direction de la Politique Industrielle du CNRS), le CRPMN a bénéficié pendant 2 ans du support d’un ingénieur ITA de Valorisation (2 CDD de 1 an) en vue de la réalisation d’un réacteur prototype de gravure plasma.

Contrats à caractère industriel.

De nombreux contrats avec différents partenaires industriels (Schneider Electric, NITRUVID, HEF R&D, Thales TED …) ou à caractère industriel (CEA, STRP MATECO …) ont été conclus au cours des dernières années, dont deux (HEF R&D et Thales TED) sous la forme de conventions CIFRE (cf. personnel du CRPMN).

ERT Plasmas HF avec HEF R&D

Cette ERT (Equipe de Recherche Technologique) a été créée pour réussir, grâce à un travail mené en commun dans la durée (2007-2010), le transfert des technologies plasma du CRPMN vers le Groupe HEF, premier façonnier français en traitements de surface par plasma (hors microélectronique).

Conventions d’accueil

Un certain nombre d’équipes R&D d’entreprises partenaires sont actuellement accueillies sur la plate-forme IAP3 dans le cadre de contrats de collaboration.

Réacteur prototype Boreal 100

Réacteurs plasma multi-dipolaires

  • Dépôts PACVD
  • Gravure
  • Dépôt par pulvérisation et co-pulvérisation assistée par plasma (PAPVD)
  • Dépôt par procédé duplex PACVD et PAPVD

 Réacteur DECR

  • Implantation ionique par immersion plasma 0-50 keV (PI3)

 Réacteur matriciel

  • Dépôt PACVD
  • Gravure

Réacteur d’études pour la production d'ions négatifs H-

  • Caractérisations par photo-détachement laser et sonde de Langmuir

 Réacteurs magnétron

  • Dépôt par pulvérisation magnétron

 Réacteur hybride à usage mutualisé avec le laboratoire PCI (Polymères, Colloïdes, Interfaces)

  • Traitement des poudres

 Décharge luminescente

  • Formation pratique

 Bancs de mesures et de tests

  • Banc de test pour technologies plasma
  • Banc de mesures micro-onde
  • Caractérisation électrique par sonde de Langmuir
  • Banc de mesure de tension superficielle

Introduction

La fusion nucléaire est le concept le plus efficace pour produire de l’énergie. Quand les réactions de fusion produisent 1 GW/an avec seulement 250 kg de deutérium (D2) et tritium, la même quantité d’énergie est produite avec 25 t d’uranium faiblement enrichi ou la combustion de 2,6 million de tonnes de charbon [1]. Toutefois, c’est aussi le mode le plus complexe de production d’énergie ; l’amorçage des réactions de fusion nucléaires entre atomes de D2 et de T2 dans le tokamak ITER représente une de ces difficultés.

Contexte

Les dispositifs de chauffage additionnels développés pour le tokamak ITER afin d’atteindre le seuil de ces réactions nucléaires sont principalement le chauffage par ondes et l’injection de faisceau de neutres (NBI en anglais) [2]. Seul le second (NBI) rend possible l’injection de neutres à haute énergie (1 MeV) et forte puissance (34 MW) dans le cœur du plasma ainsi que son réapprovisionnement en atomes de deutérium. Son fonctionnement est basé sur l’accélération d’ions négatifs (D-) en un intense faisceau qui sont ensuite neutralisés (D0) dans un gaz froid par réactions d’épluchage. Le faisceau énergétique, à 1 MeV, peut ainsi pénétrer profondément dans le plasma de de fusion sans être défléchi par l’intense champ magnétique (11 T) qui sert au confinement du plasma.

Pour ITER, ces ions négatifs sont produits par ionisation directe d’atomes de deutérium (D) sur des surfaces de tungstène recouvertes de césium. Toutefois, le césium (Cs) est un possible contaminant de l’étage d’accélération de l’extracteur où il pourrait causer des claquages à hautes tensions et induire des faisceaux parasites [3].

Afin de circonvenir à ces difficultés, des scientifiques de Grenoble, Paris, Orléans, Patras (Grèce), Eindhoven et Moscou dans le cadre du consortium EUROFusion conduisent des études fondamentales sur la production d’ions négatifs (H-/D-)[1] sans l’emploi de césium.

L’intérêt de la ligne de lumière DESIRS

Une alternative à l’utilisation du Cs pourrait être la production de tels ions négatifs (H-/D-) par attachement dissociatif (AD) (cf. Fig. 1) de molécules ro-vibrationnellement excitées H2*(v’’,J")/D2*(v’’,J") dans leur état fondamental (v” and J” représentant les niveaux vibrationnels et rotationnels) avec des électrons froids. Ces hauts niveaux ro-vibrationnels des molécules sont essentiels pour le mécanisme AD : la section efficace de réaction augmente d’un facteur 10 000 entre les niveaux v”=0 et v”=5 [4]. La spectroscopie d’absorption sur la ligne de lumière DESIRS offre un moyen unique pour sonder directement ces niveaux moléculaires produits par désorption recombinative sur des surfaces et par excitation vibrationnelle (réaction E-V) dans le volume du plasma.

Le but de notre travail est de comparer le comportement de plusieurs matériaux et leur capacités à produire des molécules ro-vibrationnellement excitées. Plusieurs étapes ont déjà été atteintes sur la branche B de la ligne DESIRS : première détection en 2016 du niveau H2*(v”=2,J") obtenu avec des filaments de tungstène chauffés [5] ; première détection du niveau H2*(v”=6,J") en plasma RCE[2] d’hydrogène et première démonstration de l’effet d’un matériau sur la production de molécules H2*(v”,J") en 2017 [6] et enfin, première détection des niveaux H2*(v”=7,J") et D2*(v”=3,J") en plasmas RCE en 2018. Lors de ces différentes campagnes expérimentales sur la ligne DESIRS, plusieurs conditions expérimentales ont été explorées : pression de fonctionnement, puissance micro-onde, température de paroi, position dans le volume du plasma et différents matériaux. L’utilisation de la spectroscopie à transformée de Fourier (FTS en anglais) en décembre 2018 ainsi qu’un dispositif expérimental sans fenêtres ont permis une amélioration significative aussi bien sur la plage de longueurs d’ondes couverte que pour la résolution spectrale atteinte ; neuf réglages différents ont été nécessaires pour couvrir les transitions de v’’=0 jusqu’à 8 pour H2 dans la gamme d’énergie allant de 61000 à 94000 cm-1 (cf. Fig. 2) avec une très haute résolution (0.95 pm de FWHM pour H2). Actuellement, sont comparés le tantale, le tungstène et l’acier inoxydable au quartz qui est connu pour son très faible coefficient de recombinaison. Par exploitation de spectres FTS, la distribution ro-vibrationnelle absolue des molécules H2 et D2 sera obtenue et les propriétés des matériaux à améliorer la production des niveaux vibrationnels comparées.

La figure 3 présente un spectre typique d’absorbance obtenu en plasma D2 faisant face à une surface de tantale. Sur ce spectre rotationnel, les branches P et R sont observées pour les transitions 0-6 jusqu’à J’’ = 8. Toutes les transitions P et R exploitables sont utilisées pour déterminer les populations vibrationnelles du niveau fondamental auquel le mécanisme AD est sensible.

De plus, au-delà des transitions moléculaires, les transitions atomiques de Lyman (cf. fig. 4), depuis Ly-g jusqu’à Ly-q (97.25 nm to 92.3 nm) ont été étudiées lors des mesures par FTS pour obtenir la densité absolue des atomes d’hydrogène et ainsi en déduire la densité absolue des différents niveaux vibrationnels de la molécule dans son état fondamental.

Perspectives

Grace à la mise au point de cette méthode de diagnostic des plasmas H2/D2, nous sommes désormais en mesure d’effectuer des mesures bidimensionnelles des niveaux ro-vibrationnels excités des molécules H2/D2 dans le plasma. Ceci est nécessaire pour valider expérimentalement les résultats des modèles bidimensionnels [7] avant la conception de nouvelles géométries [8] de sources d’ions destinées à la fusion.

 

[1] Le dihydrogène et les ions H- seront employés pour le démarrage du réacteur ITER et pour ses premières années de fonctionnement avant l’utilisation du deutérium moléculaire et des ions D-. Le deutérium moléculaire sera utilisé lorsque les réactions de fusion nucléaires seront amorcées, dans une deuxième étape. Ainsi, les études fondamentales tournées vers les deux types d’ions H-/D- sont pertinentes.

[2] Résonance cyclotronique électronique, mécanisme de couplage entre la composante électrique E(t) d’une onde électromagnétique de fréquence 2,45 GHz et le mouvement d’un électron dans un champ magnétique constant perpendiculaire d’intensité 0,0875 T.

Reaction

Fig. 1 Depuis le haut : dans un gaz froid, sans plasma, seul les niveaux rotationnels j’’ du niveau fondamental v’’=0 sont peuplés. Dans le plasma, des électrons chauds (Te > 20 eV) sont produits. Depuis la gauche de la figure : la désorption recombinative est une réaction entre un atome d’hydrogène déjà adsorbé à la surface du matériau et un autre atome issu du plasma. Cette rencontre crée une molécule dans un état électronique fondamental ro-vibrationnellement excité (v’’ >0). L’attachement dissociatif avec un électron froid (Te < 1 eV) produit un ion négatif ; les collisions entre molécules et électrons chauds produisent des états singulets (B et C) qui se désexcitent radiativement en ces mêmes molécules ro-vibrationnellement excitées. Tous ces mécanismes restent identiques pour le deutérium.

 

 

 Fig2 Highlight

 

Fig. 2 Spectres d’absorption obtenus pour différentes fenêtres spectrales de l’ondulateur en fonction du nombre d’onde (cm-1) couvrant H2*(v"=0-8,J"). Les inserts noirs correspondent aux absorbances obtenues pour v’’=4 et 6. Conditions plasma  : 150W, 6 mTorr, pour le tantale comme matériau faisant face au plasma.

 

 

Graph18 D2 Ta cm 1

 

Fig. 3 Absorbance (ln(Io/I)) de D2*(v"=6,J") en fonction du nombre d’onde (cm-1) obtenu à 150W, 6 mTorr, pour le tantale comme matériau faisant face au plasma. 0-6 and 2-7 correspondent à des transitions entre deux états vibrationnels de la molécule : depuis  jusqu’à l’état et entre  et . Io correspond à l’intensité de la lumière issue du synchrotron sans absorption (référence) et I correspond à l’intensité de la lumière après absorption par le milieu.

 Lyman transitions

 

Fig. 4 Absorbance des transitions atomique de Lyman obtenues en plasma H2 pour le quartz comme matériau faisant face au plasma à basse pression et faible température (0.6 mTorr et 173 K) pour une puissance micro-onde de 150 W. Les séries de Lyman servent à obtenir la densité absolue d’atomes H ou D dans le plasma.

 

Références:

[1] Simonin, A., Achard, J., Achkasov, K., Bechu, S., Baudouin, C., Baulaigue, O., … Teste, P. (2015). R&D around a photoneutralizer-based NBI system (Siphore) in view of a DEMO Tokamak steady state fusion reactor. Nuclear Fusion, 55(12), 123020. Retrieved from http://stacks.iop.org/0029-5515/55/i=12/a=123020

[2] Hemsworth, R. S., Boilson, D., Blatchford, P., Palma, M. D., Chitarin, G., De Esch, H. P. L., … Zaccaria, P. (2017). Overview of the design of the ITER heating neutral beam injectors. New Journal of Physics. https://doi.org/10.1088/1367-2630/19/2/025005

[3] Simonin, A., Agnello, R., Bechu, S., Bernard, J. M., Blondel, C., Boeuf, J. P., … Morgal, I. (2016). Negative ion source development for a photoneutralization based neutral beam system for future fusion reactors. New Journal of Physics, 18(12). https://doi.org/10.1088/1367-2630/18/12/125005

[4] Bacal, M. (2012). Negative hydrogen ion production in fusion dedicated ion sources. Chemical Physics, 398, 3–6. https://doi.org/10.1016/j.chemphys.2011.04.002

[5] Béchu, S., Aleiferis, S., Bentounes, J., Gavilan, L., Shakhatov, V. A., Bès, A., … Lemaire, J. L. (2017). Detection of rovibrationally excited molecular hydrogen in the electronic ground state via synchrotron radiation. Applied Physics Letters, 111(7), 074103. https://doi.org/10.1063/1.4985617

[6] Bentounes, J., Béchu, S., Biggins, F., Michau, A., Gavilan, L., Menu, J., … Lacoste, A. (2018). Effects of the plasma-facing materials on the negative ion H − density in an ECR (2.45 GHz) plasma. Plasma Sources Science and Technology, 27(5), 055015. https://doi.org/10.1088/1361-6595/aac0ed

[7] Fubiani, G., Garrigues, L., Hagelaar, G., Kohen, N., & Boeuf, J. P. (2017). Modeling of plasma transport and negative ion extraction in a magnetized radio-frequency plasma source. New J. Phys, 19. https://doi.org/10.1088/1367-2630/19/1/015002

[8] Agnello, R., Barbisan, M., Furno, I., Guittienne, P., Howling, A. A., Jacquier, R., … Simonin, A. (2018). Cavity ring-down spectroscopy to measure negative ion density in a helicon plasma source for fusion neutral beams. Review of Scientific Instruments, 89(10), 103504. https://doi.org/10.1063/1.5044504

 

Dispositifs expérimentaux de production d’ions H- et moyens de diagnostic associés

  • Réacteur de grand volume "Camembert III" provenant de l'école Polytechnique (Palaiseau) et utilisé au CRPMN de 2008 à 2012
  • Réacteur de petit volume "ROSAE III" conçu au CRPMN et utilisé dépuis 2012 pour des études fondamentales relatives à l'interaction plasma / surface
  • Dispositif de mesure des paramètres plasma par sonde de Langmuir
  • Caractérisation des ions négatifs H- par photo-détachement laser Nd-Yag (1064 nm)
  • Spectroscopie d'émission VUV et visible
Au premier plan, le laser Nd-Yag pour la caractérisation des ions H-, à l'arrière plan le réacteur "Camembert III" provenant de l'école Polytechnique (Palaiseau) et utilisé au CRPMN entre 2008 et 2012

 

Articles de référence

[1]      Direct measurements of electronic ground state ro-vibrationally excited D2 molecules produced on ECR plasma-facing materials by means of VUV-FT absorption spectroscopy

Béchu S, Lemaire J L, Gavilan L, Aleiferis S, Shakhatov V, Lebedev Y A, Fombaron D, Bonny L, Menu J, Bès A, Svarnas P and De Oliveira N 2020 J. Quant. Spectrosc. Radiat. Transf. 257 107325. https://doi.org/10.1016/j.jqsrt.2020.107325 0022-4073/©

[2]      Negative ion characterization in a helicon plasma source for fusion neutral beams by Cavity Ring-Down Spectroscopy and Langmuir Probe laser photodetachment

Agnello, Riccardo; Béchu, Stéphane Jean Louis; Furno, Ivo; Guittienne, Philippe; Howling, Alan; Jacquier, Remy; Plyushchev, Gennady; Barbisan, Marco; Pasqualotto, Roberto; Morgal, Iaroslav; Simonin, Alain, Nuclear Fusion 2020; 60:026007. https://doi.org/10.1088/1741-4326/ab5e64.

[3]       Magnetic field configurational study on a helicon-based plasma source for future neutral beam systems

Kamal,A, Agnello, R., Bechu, S., Cartry, G., De Esch, H., Furno, I., Guittienne, P., Howling, A., Jacquier, R., Morgal, I., Sadeghi, N., Simonin, A. (2019) Plasma Sources Science and Technology, 28(9), 095005. https://doi.org/10.1088/1361-6595/ab3705.

 [4]       Cavity ring-down spectroscopy to measure negative ion density in a helicon plasma source for fusion neutral beams.

Agnello, R., Barbisan, M., Furno, I., Guittienne, P., Howling, A. A., Jacquier, R., Pasqualotto, R., Plyushchev, G., Andrebe, Y., Béchu, S., Morgal, I., Simonin, A. (2018). Review of Scientific Instruments, 89(10), 103504. https://doi.org/10.1063/1.5044504

[5]       Production of hydrogen negative ions in an ECR volume source: balance between vibrational excitation and ionization.

Aleiferis, S., Svarnas, P., Béchu, S., Tarvainen, O., & Bacal, M. (2018). Plasma Sources Science and Technology, 27(7), 075015. https://doi.org/10.1088/1361-6595/aabf1b

 [6]       Effects of the plasma-facing materials on the negative ion H − density in an ECR (2.45 GHz) plasma

Bentounes, J., Béchu, S., Biggins, F., Michau, A., Gavilan, L., Menu, J., L. Bonny, D. Fombaron, Yu. A. Lebedev, V. A. Shakhatov, P. Svarnas, T. Hassaine, J. L. Lemaire, Lacoste, A. (2018), Plasma Sources Science and Technology, 27(5), 055015. https://doi.org/10.1088/1361-6595/aac0ed

 [7]       Production of hydrogen negative ions in an ECR volume source: Balance between vibrational excitation and ionization

Aleiferis, S., Svarnas, P., Bechu, S., Tarvainen, O., & Bacal, M. (2018). Plasma Sources Science and Technology, 27 (7), 075015  http://iopscience.iop.org/10.1088/1361-6595/aabf1b

 [8]        Detection of rovibrationally excited molecular hydrogen in the electronic ground state via synchrotron radiation

S. Béchu, S. Aleiferis, J. Bentounes, , L. Gavilan, V. A. Shakhatov, A. Bès, P. Svarnas, S. Mazouffre, N.de Oliveira, R. Engeln, J. L. Lemaire, (2017) Appl. Phys. Lett. 111, 7  074103

 [10]      Spectroscopic characterisation of H2 and D2 helicon plasmas generated by a resonant antenna for neutral beam applications in fusion

C. Marini, R. Agnello, B. Duval, I. Furno, A. Howling, R. Jacquier, A. Karpushov, G. Plyushchev, K. Verhaegh, P. Guittienne, U. Fantz, D. Wuenderlich, S. Béchu, A. Simonin, Nucl. Fusion 57, 3 (2017) 036024

[11]      Negative ion source development for a photoneutralization based neutral beam system for future fusion reactor

A Simonin, R Agnello, S Bechu, J M Bernard, C Blondel, J P Boeuf, D Bresteau, G Cartry, W Chaibi, C Drag, B P Duval, H P L de Esch, G Fubiani, I Furno, C Grand, Ph Guittienne, A Howling, R Jacquier, C Marini, I Morgal, New J. Phys. 18 (2016) 125005

[12]    Experimental investigation of the relation between H- negative ion density and Lyman-a emission intensity in a microwave discharge            S. Aleiferis, T. Olli, P. Svarnas, M. Bacal, S. Béchu, J. Phys. D: Appl. Phys.

49 095203 (2016)

[13]      Rotational distribution of hydrogen molecules in the  in the discharge with electron cyclotron resonance

S. Béchu, A. Lacoste, Yu. A. Lebedev, V. A. Shakhatov, Prikladnaya Fizika (Applied Physics) (2015) 2 pp. 45-46

[18]      R&D around a photoneutralizer-based NBI system (Siphore) in view of a DEMO Tokamak steady state fusion reactor

A. Simonin, Jocelyn Achard, K. Achkasov, S. Bechu, C. Baudouin, O. Baulaigue, C. Blondel, J.P. Boeuf, D. Bresteau, G. Cartry, W. Chaibi, C. Drag, H.P.L. de Esch, D. Fiorucci, G. Fubiani, I. Furno, R. Futtersack, P. Garibaldi, A. Gicquel, C. Grand, Ph. Guittienne, G. Hagelaar, A. Howling, R. Jacquier, M.J. Kirkpatrick, D. Lemoine, B. Lepetit, T. Minea, E. Odic, A. Revel, B.A. Soliman, P. Teste, Nucl. Fusion 55 (2015) 123020 (19pp)

[19]   H- Negative Ion Production from a 2D-Network of ECR Dipolar Plasma Sources

S. Aleiferis, P. Svarnas, I. Tsiroudis, S. Béchu, M. Bacal, A. Lacoste, IEEE Trans. Plasma Sc. 42 SI (2014) 2828-2829

[20]      Multi-dipolar microwave plasmas and their application to negative ion production

S. Béchu, A. Soum-Glaude, A. Bès, A. Lacoste, P. Svarnas, S. Aleiferis, A. A. Ivanov Jr, M. Bacal, Phys. Plasmas, 20, 101601 (2013)

[21]      Study of hydrogen plasma in the negative-ion extraction region

P. Svarnas, B.M. Annaratone, S. Béchu, J. Pelletier, M. Bacal, Plasma Sources Sci. Technol. 18 (2009) 045010.

[22]      Investigation of Hˉ production by surface interaction of the plasma generated in "Camembert III" reactor via distributed electron cyclotron resonance at 2.45 GHz,

S. Béchu, A. Bès, D. Lemoine, J. Pelletier, M. Bacal, Rev. Sci. Instrum, 79, (2008) 02A505

[23]      H- extraction from ECR-driven multi-cusp volume source operated in pulsed mode

P. Svarnas, M. Bacal, P. Auvray, S. Béchu, J. Pelletier, Rev. Sci. Instrum, 77, (2006) 03A512.

[24]      H- ion production in ECR driven multicusp volume source

     A. A. Ivanov, C. Rouillé, M. Bacal, Y. Arnal, S. Béchu, J. Pelletier, Rev. Sci. Instrum. 75, (2004) 1750-1753