Liste des thèses soutenues

Le Coz Thomas  - 2018
Directeur de thèse : Ana Lacoste

Sujet de thèse : Dépôts defilms minces sur un acier inoxydable par pulvérisation cathodique magnétron (3D deposition on stainless steel wire using magnetron sputtering)

Aleiferis Spyridon  - 2016
Directeur de thèse : Stephane Bechu
Co-directeur(s) de thèse : Panagiotis Svarnas
Sujet de thèse : Étude expérimentale de la production et extraction des ions négatifs H- par une source multi-dipolaire ECR applicable à la fusion thermonucléaire
Manuscript : Spyridon Aleiferis. Experimental study of H- negative ion production by electron cyclotron resonance plasmas. Plasma Physics [physics.plasm-ph]. Université Grenoble Alpes, 2016. English. <NNT : 2016GREAI032>. <tel-01492954>
Baele Pierre  - 2015
Directeur de thèse : Ana Lacoste
Sujet de thèse : Développement de décharges élémentaires produites à l'aide de sources RF à état solide : conception d'applicateurs intégrés
Manuscript : Pierre Baële. Étude des sources plasma micro-onde à structure coaxiale pour la conception amont d'applicateurs à transformateur d'impédance intégré. Influence de la pression, de la géométrie et de la fréquence d'excitation. Autre. Université Grenoble Alpes, 2015. Français. <NNT : 2015GREAI088>. <tel-01269788>
Prahoveanu Codrin  - 2015
Directeur de thèse : Stephane Bechu
Sujet de thèse : Élaboration et caractérisation d'Interfaces. Matériaux thermoélectriques sur échangeurs thermiques
Manuscript : https://hal.archives-ouvertes.fr/tel-02001974
Todoran Alexandru  - 2014
Directeur de thèse : Ana Lacoste
Co-directeur(s) de thèse : Marc Mantel

 

2013
Phan Than Long
- Directeur de thèse : Ana Lacoste
Dorval Sebastien - Directeur de thèse : Ana Lacoste

2012
Bes Alexandre - Directeur de thèse : Ana Lacoste

 

Le Quoc Huy - 2011
Directeur de thèse : Ana Lacoste
Manuscript : Huy Le Quoc. Matériaux thermoélectriques du type Mg2Si-Mg2Sn élaborés en couches minces par co-pulvérisation assistée par plasma. Physique des plasmas [physics.plasm-ph]. Université de Grenoble, 2011. Français. <NNT : 2011GRENY072>. <tel-00859213>
Regnard Guillaume  -2011
Directeur de thèse : Ana Lacoste
Manuscript : Guillaume Regnard. Développement d'une nouvelle génération de plasmas micro-onde à conditions opératoires étendues. Physique des plasmas [physics.plasm-ph]. Université de Grenoble, 2011. Français. <NNT : 2011GRENY060>. <tel-01089534>

 

Boudemagh Djalila - 2010
Directeur de thèse : Ana Lacoste
Co-directeur(s) de thèse : Daniel Fruchart
Diers Mathieu - 2010
Directeur de thèse : Ana Lacoste
Co-directeur(s) de thèse : Beat Schmidt
Manuscript : Mathieu Diers. Conception, étude et optimisation de nouvelles sources plasma à la résonance cyclotronique électronique. Application aux dépôts par voie chimique et par pulvérisation.. Plasmas. Université de Grenoble, 2010. Français. <tel-00782845>

 

Période 2016-2018

  • Open-ended coaxial plasma source with extended operating parameters: plasma impedance, coupling and energy efficiency, http://www.ingentaconnect.com/content/iop/psst/2014/00000023/00000006/art064006»
  • Dehydrogenation process and thermal stability of Mg-Ti-H films in-situ hydrogenated by microwave reactive plasma-assisted co-sputtering technique, https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0925838818326604?via%3Dihub
  • Thin films as model system for understanding the electrochemical reaction mechanisms in conversion reaction of MgH2 with lithium, https://doi.org/10.1016/j.jpowsour.2018.09.033
  • Diamond sensors for future high energy experiments, http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0168900216300560
  • S. Aleiferis, Étude expérimentale de la production d’ions négatifs H- par des plasmas à la résonance cyclotron électronique, soutenue le 07/07/2016, cotutelle UGA-Université de Patras (Grèce)
  • A. Martin Ortega, Power absorption mechanisms and energy transfer in X-ray gas attenuators, soutenue le 19/01/2017, thèse ESRF avec co-encadrement LPSC
  • J. Bentounes, Etude expérimentale de la production d’un courant d’ions négatifs appliquée à la fusion thermonucléaire contrôlée par utilisation de techniques spectroscopiques et confrontation des résultats expérimentaux à un modèle numérique, soutenue le 27/09/2018, codirection UGA- Université de Mostaganem (Algérie).
  • T. Le Coz, Fonctionnalisation d’un fil métallique par croissance de films minces dans un magnétron cylindrique inversé, soutenue le 15/02/2018), CIFRE Ugitech.
  • Y. Xi, Détecteur de neutrons ultra-froids sensible à la position, soutenance prévue le 15/10/2019, codirection UCN - Plasmas-Matériaux-Nanostructures.
  • I. Iliescu, Déshydrogénation et stabilité thermique des composés Mg-Ti-H, 2017, projet CARNOT Energies du Futur.
  • A. Martin Ortega, Développement de sources plasma à pression intermédiaire pour dépôt de diamant sur grande surface, 2017-2018, projet ProExtend, SATT-Linksium.

 

  • Polycopiés de Travaux Pratiques
  • Fascicules de Formation Continue

 

Diplôme DRT  (Bac + 6)

  • CIRON Richard, Diplôme de Recherche Technologique (DRT) à l’UJF, Réalisation de filtres pour micro- et nanofiltration (novembre 2004)

Thèses récentes ou en cours (http://tel.archives-ouvertes.fr)

  • VEMPAIRE David, thèse UJF, en co-tutelle avec le Laboratoire de Cristallographie de Grenoble, Modification des propriétés magnétiques de couches minces de nickel et de manganèse et réalisation de microstructures magnétiques par implantation ionique en immersion plasma (décembre 2004)
  • BUSANI Tito, thèse UJF, en co-direction avec le Laboratoire des Matériaux Avancés de l’Université du Nouveau-Mexique, à Albuquerque, USA, Élaboration et caractérisation de quelques diélectriques à forte permittivité avec application en microélectronique : influence de la structure du réseau sur les propriétés électriques (septembre 2006)
  • LATRASSE Louis, thèse UJF, Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielle (novembre 2006)
  • TRAN Tan Vinh, thèse UJF, Caractérisation et modélisation des plasmas micro-onde multi-dipolaires / Application à la pulvérisation assistée par plasma multi-dipolaire (décembre 2006)
  • KOO Min, thèse UJF, Effets de température dans les procédés de gravure plasma / Aspects fondamentaux et applications (soutenance en décembre 2008)
  • DIERS Mathieu, thèse UJF, en co-tutelle avec HEF R&D (CIFRE), Développement et optimisation d’un procédé de dépôt (2007-2010)
  • BOUDEMAGH Djalila , thèse UJF, en co-tutelle avec l'Institut Louis Néel, Elaboration de matériaux thermo-électriques en couches minces par co-pulvérisation assistée par plasma micro-onde multi-dipolaire (2007-2010)
  • LE QUOC Huy, thèse UJF, en co-tutelle avec le Laboratoire Plasma de l’Université de Danang (Vietnam), Élaboration en couches minces de matériaux pour la conversion d’énergie par co-pulvérisation assistée par plasma micro-onde multi-dipolaire (2008-2011)
  • REGNARD Guillaume, thèse UJF, en co-tutelle avec THALES TED (CIFRE dans le cadre du GIS IN2P3-UJF-THALES TED), Développement d'une nouvelle génération de plasmas micro-ondes à conditions opératoires élargies (2009-2011)
  • BÈS Alexandre, thèse UJF, Étude de procédés de gravure de motifs à facteur de forme élevée. Application à la réalisation de structures périodiques submicroniques (2009-2012)

Diplôme HDR

  • BÉCHU Stéphane (en cours)

Pour des formations plus ciblées, le LPSC peut organiser, à la demande d’un industriel ou d’une équipe de recherche, une ou plusieurs journées sur des thématiques plasma relevant des compétences du CRPMN et de ses partenaires (liste non limitative) :

Formations théoriques

  • Physique des plasmas
  • Physique et technologie des réacteurs plasma
  • Interaction plasma-surface
  • Micro-fabrication (gravure, dépôt, implantation ionique …)
  • Applications hors microélectronique (stérilisation, détoxication …)
  • … (selon demande)

Travaux pratiques disponibles

  • Décharge luminescente (Paschen)
  • Caractérisation électrique des plasmas (sonde de Langmuir)
  • Caractérisation chimique par spectroscopie d’émission optique (actinométrie)
  • Polarisation RF des substrats
  • Dépôt PACVD et gravure de SiO2
  • Dépôts par pulvérisation
  • Implantation ionique par immersion plasma (PBII)
  • … (selon disponibilité)

Suivant le cas, la formation peut se dérouler sur site, par exemple en milieu industriel, pour des formations théoriques (cf. ST Microelectronics, Atmel, Air Liquide …), ou sur la plate-forme IAP3 pour des formations pratiques.